振動(dòng)測(cè)量不同于指示的噪聲測(cè)量規(guī)格，并且振動(dòng)測(cè)量方法和振動(dòng)計(jì)有多種。振動(dòng)傳感器包括位移計(jì)，速度針，加速度計(jì)等，其中更普遍使用與速度成比例的電振動(dòng)傳感器和與加速度成比例的壓電振動(dòng)傳感器。在測(cè)量振動(dòng)時(shí)，應(yīng)注意傳感器的方向性和被測(cè)物體的振動(dòng)方向。安裝振動(dòng)傳感器時(shí)，必須注意不要影響振動(dòng)本身。下圖顯示了用于步進(jìn)電機(jī)振動(dòng)測(cè)量的功能框圖和測(cè)量示例。

在上圖中的測(cè)量示例中，垂直軸是振動(dòng)加速度，水平軸是驅(qū)動(dòng)頻率，并且是連續(xù)自動(dòng)掃頻測(cè)量。因此，下圖顯示了兩相HB步進(jìn)電機(jī)的三維振動(dòng)圖。

換句話說，步進(jìn)電動(dòng)機(jī)的驅(qū)動(dòng)脈沖波連續(xù)不斷地自動(dòng)掃頻并以三個(gè)維度顯示每個(gè)記錄的頻率分析結(jié)果。 Y（傾斜）軸表示步進(jìn)電機(jī)的脈沖頻率，X（水平）軸表示振動(dòng)頻率，Z（垂直）軸表示振動(dòng)加速度。由此可見，在驅(qū)動(dòng)脈沖和頻率處，振動(dòng)的大小一目了然，并且振動(dòng)結(jié)果的分析容易。

基本振動(dòng)分析圖。可以看出，在振動(dòng)大的地方，驅(qū)動(dòng)脈沖的基頻會(huì)引起最大的振動(dòng)分量，并且出現(xiàn)的振動(dòng)點(diǎn)是諧波。 180pps是轉(zhuǎn)子和負(fù)載系統(tǒng)的振動(dòng)加速度以及固有頻率共振。

HB型步進(jìn)電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)子和定子具有多維關(guān)系。激勵(lì)中有許多空間高次諧波。同時(shí)，勵(lì)磁電流還包含高次諧波。磁通量和當(dāng)前轉(zhuǎn)矩的乘積在此還包括轉(zhuǎn)矩波動(dòng)，從而引起徑向振動(dòng)。上面的振動(dòng)分析圖中顯示的步進(jìn)電機(jī)的振動(dòng)主要是前者，而定子噪音或徑向振動(dòng)的原因主要是后者。